半導體行業(yè)中常見真空計有電阻真空計(皮拉尼真空計),、熱電偶真空計,、電容真空計,、電離子真空計,、冷陰極電離真空計和全量程真空計等,。其中冷陰極電離真空計又分為潘寧規(guī),、磁控管規(guī)和反磁控管規(guī)三種川,。全量程真空計是低真空計和高真空計的組合;電阻真空計量程寬,，比較常用;熱電倆真空計量程窄,，結構簡一單,，不易損壞;電容真空計測量值不受氣體種類的影響;電離真空計屬于高真空計，會發(fā)熱;冷陰極電離真空計屬于高真空計,，不發(fā)熱,，易維修;全量程真空計自動量程切換，使用方便,。
現(xiàn)在的大多數(shù)真空計探測頭和信號處理電路做在一起,，這樣能提高抗干擾能力并且促進其小型化。大多數(shù)探測頭使用金屬材質而不是玻璃材質，這樣更結實小巧,。真空計顯示控制器也要求小型化,，有的做到了體積為105mmx110mmx250mm,質量為1.3kg，帶3個接頭,，每個接頭可以接電阻真空計或冷陰極電離真空計等,，這種智能型真空計控制器攜帶和使用都很方便。
