當電子通過真空容器中的稀薄氣體時,，就會和氣體分子碰撞.當電子能量小時,，碰撞后只改變兩者的運動速度和方向,。當電子具有足夠大的能量,，大于氣體電離電位時,，電子高速運動和氣體分子碰撞,，使氣體分子電離,，所產(chǎn)生的正離子數(shù)與氣體的密度成正比.而壓強p=nKT在某一溫度下,，n和p成正比,。如能測量電離產(chǎn)生離子流的大小,，就可接地測量了真空度,。

電離真空計就是根據(jù)這個原理制成的。如果高速電子是由加熱陰極發(fā)射出來,，就稱為熱陰極電離真空計.

熱陰極電離計測量電路由以下三部分組成,。

①離子流放大器。

②發(fā)射電流穩(wěn)定器,。

③電壓穩(wěn)定器,，以保持規(guī)管參數(shù)的穩(wěn)定。

熱陰極電離計的特點是:可測氣體和蒸氣壓強能遠距離連續(xù)測量,，真空度愈高,，靈敏度愈

高。但讀數(shù)與氣體種類有關(guān),，陰極在測量壓強低于10-3Pa時易燒毀,。

為了使用方便，目前有復(fù)合真空計,，它將熱偶計和電離計測量部分組裝在一起,，但使用時

仍是各自獨立。