當(dāng)電子通過(guò)真空容器中的稀薄氣體時(shí)，就會(huì)和氣體分子碰撞.當(dāng)電子能量小時(shí),，碰撞后只改變兩者的運(yùn)動(dòng)速度和方向,。當(dāng)電子具有足夠大的能量,，大于氣體電離電位時(shí),，電子高速運(yùn)動(dòng)和氣體分子碰撞,，使氣體分子電離,，所產(chǎn)生的正離子數(shù)與氣體的密度成正比.而壓強(qiáng)p=nKT在某一溫度下,，n和p成正比,。如能測(cè)量電離產(chǎn)生離子流的大小,，就可接地測(cè)量了真空度。

電離真空計(jì)就是根據(jù)這個(gè)原理制成的,。如果高速電子是由加熱陰極發(fā)射出來(lái),，就稱為熱陰極電離真空計(jì).

熱陰極電離計(jì)測(cè)量電路由以下三部分組成。

①離子流放大器,。

②發(fā)射電流穩(wěn)定器,。

③電壓穩(wěn)定器，以保持規(guī)管參數(shù)的穩(wěn)定,。

熱陰極電離計(jì)的特點(diǎn)是:可測(cè)氣體和蒸氣壓強(qiáng)能遠(yuǎn)距離連續(xù)測(cè)量,，真空度愈高，靈敏度愈

高,。但讀數(shù)與氣體種類有關(guān),，陰極在測(cè)量壓強(qiáng)低于10-3Pa時(shí)易燒毀。

為了使用方便,，目前有復(fù)合真空計(jì),，它將熱偶計(jì)和電離計(jì)測(cè)量部分組裝在一起，但使用時(shí)

仍是各自獨(dú)立,。