對(duì)于滑閥式真空泵的檢修,，一般要對(duì)泵徹底解體,，全面檢查,，測(cè)量滑閥與泵體之間的間隙(正常的間隙為0.04~0.12mm);檢查泵內(nèi)的滑閥,、導(dǎo)軌泵偏心輪表面有無(wú)裂紋,，表面有裂紋,，立即更換;泵內(nèi)的密封件全部更換;在泵動(dòng)態(tài)運(yùn)行上，可應(yīng)用振動(dòng)測(cè)試儀,每周對(duì)泵的振動(dòng)情況作了測(cè)試,，根據(jù)所測(cè)的數(shù)據(jù),，就可初步判定軸承、滑閥等部件的磨損情況,，在軸承運(yùn)動(dòng)精度降低的情況下,，就將其更換掉，避免由于軸承的磨損而導(dǎo)致滑閥與泵腔之間的撞擊與摩擦,。對(duì)修復(fù)的機(jī)械泵應(yīng)用真空表,，進(jìn)行極限壓力測(cè)試，確定泵的性能和修復(fù)效果,。對(duì)于使用時(shí)間長(zhǎng)的舊泵,，泵的間隙大于0.1mm小于0.2mm，極限真空要求不是很苛刻的,，還可選用運(yùn)動(dòng)粘度為150mm2/s的真空泵油,也可滿足泵的正常工作,。

由于泵腔的磨損，導(dǎo)致滑閥與泵腔之間的間隙大于0.2mm的泵,，需要與泵的制造廠家配合,，根據(jù)泵腔的磨損情況，專門制作滑閥,、偏心輪,、導(dǎo)軌，使之與泵腔保持正常的間隙;對(duì)于泵腔磨損,、劃傷嚴(yán)重的,，抽空時(shí)間和極限壓力不能滿足工藝需要的，維修備件費(fèi)用接近新泵價(jià)格一半左右的,，已失去維修價(jià)值,，應(yīng)更換新的滑閥式真空泵。