真空熱處理工藝的發(fā)展,，是與設(shè)備的發(fā)展分不開(kāi)的,，提高設(shè)備技術(shù)水平以適應(yīng)工藝要求，往往又與配套件技術(shù)的發(fā)展密切相關(guān)。
真空泵的發(fā)展
在1873年發(fā)明白熾燈泡前,，主要是用活塞式抽氣機(jī)獲得真空，但只能達(dá)到0.25乇的真空度。隨后電子管制造技術(shù)要求更高的真空度,，就促進(jìn)了真空技術(shù)的發(fā)展,，因而相繼出現(xiàn)了各種真空泵:旋轉(zhuǎn)水銀泵(1905年)，油封旋轉(zhuǎn)泵(1907年),、分子泵(1913年)和擴(kuò)散泵(1915年),。其中擴(kuò)散泵的發(fā)明、使真空技術(shù)進(jìn)入高真空度(10-8毛左右)的階段,。隨著近代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,，例如加速器、熱核反應(yīng)裝置,，大型真空護(hù)等,，都要求能在大容積的空間建立必要的真空度。因此,，到了60年代初期,擴(kuò)散泵的排氣速度已達(dá)到了數(shù)萬(wàn)升/秒的能力,。
但是，就真空熱處理所需的真空度而言,，一般達(dá)到1x10-2~1x10-4乇就足夠了,，只在特殊情況下，才用1x10-5~1X10-6乇的真空度,。所以真空熱處理爐常用的真空泵,，是由機(jī)械泵和油蒸發(fā)擴(kuò)散泵所組成。
