真空泵作為半導(dǎo)體制造行業(yè)的一種主要的生產(chǎn)設(shè)備,，愈來愈要求安全可靠,。當(dāng)烴油密封的旋轉(zhuǎn)泵用于光刻去膠等有氧的場(chǎng)合，有時(shí)會(huì)發(fā)生爆炸,。原子化的油霧,、熱的油蒸氣,、摩擦、壓縮,、較高的溫度,、外物、可能的靜電等,，一旦與氧結(jié)合便可能危害環(huán)境,。而這些因素，真空泵里都有,。在泵里采用氮等惰性氣體作為氣爆,，并用氮來減小油箱里的氧濃度(使氧濃度低于25%),，可使發(fā)生爆炸的危險(xiǎn)性減小.這個(gè)方法已被半導(dǎo)體制造行業(yè)采用.而英國(guó)薩西克斯郡Edwards公司則推出了“福姆勃林”(Fomblin)惰性潤(rùn)滑流體，它不管用在什么場(chǎng)合,，同氧接觸都是沒有問題的,。
新的真空泵將更能適應(yīng)集成電路制造工藝中的腐蝕要求，例如可用陶瓷,、耐熔金屬和貴金屬制造,。
新的泵將保持現(xiàn)在的泵的全部?jī)?yōu)點(diǎn)而沒有現(xiàn)在的泵的缺點(diǎn)。低溫泵方面,，低溫發(fā)生器和壓縮機(jī)兩者的總可靠性將有進(jìn)一步提高,。粗抽機(jī)械泵方面，清沽度將起碼提高一個(gè)數(shù)量級(jí),。據(jù)日本一家電子公司估計(jì),，在今后的幾年里，渦輪泵和低溫泵將替代擴(kuò)散泵,，因?yàn)樗鼈兊那鍧嵍容^高,。新型的磁懸浮軸承渦輪分子泵將用于半導(dǎo)體制造行業(yè)。
泵將會(huì)有較多的計(jì)算機(jī)接口,，甚至成為自診斷型,。粗抽由于有嚴(yán)重化學(xué)腐蝕問題，其有自我監(jiān)測(cè)能力的葉輪泵將替代活塞泵,，而活塞泵將成為落后的技術(shù)代表,。展望50年后，許多半導(dǎo)體制造甚至可以帶到外層空間去進(jìn)行!未來的真空泵將僅僅是工藝處理室后面的一只面向著深遠(yuǎn)莫測(cè)外層空間的閥門而已!
