閥門(mén)在真空裝置中,，是為了分隔系統(tǒng)的各部分用的,。按其工作特性,，可分為預(yù)真空閥和高真空閥,，兩者主要區(qū)別在于其出入口直徑尺寸和真空密封結(jié)構(gòu),。前者的出入口直徑,，一般在15-20毫米左右,，多用真空橡皮墊圈密封,，用于預(yù)真空部分,，而后者的口徑為65,、100、150,、180毫米或更大些,，密封多用金屬墊(特別是用于超高真空部分的閥門(mén))，只有極限真空低于10-6托時(shí),，用橡皮密封才較多,。它們?cè)谑褂貌牧仙希鶑V泛應(yīng)用黃銅,、鋼,、不銹鋼等金屬,，由于鑄造具有多孔性，故真空閥門(mén)都不用鑄件,。
對(duì)于閥桿與蓋或與閥體的密封主要形式,，不外乎橡皮的、金屬皺紋管的兩種,，薄膜的(指在閥中用被青銅或鎳皮制成的,，厚度為0.1-0.15毫米的皺紋薄膜密封，一般其往復(fù)行程為2-4毫米)用得較少,。
在閥門(mén)孔處的密封(指關(guān)閉閥的密封),，一般是用真空橡皮。用錐形閥盤(pán)(由軟質(zhì)材料銀,、鎳或黃銅制成)與圓往形閥座(用淬火鋼)的線狀緊密貼合密封,，由于它的耐久性不好(如閥盤(pán)對(duì)閥座略為偏斜，密封表面加工有缺陷,，以及過(guò)份壓緊閥盤(pán)而擠壓閥座,，都會(huì)使閥門(mén)不再嚴(yán)密而需修理).只用于超高真空中。而油密封及液態(tài)金屬密封,，除某些真空度要求高而導(dǎo)管尺寸不太大的系統(tǒng)外,，應(yīng)用也不多,。
在設(shè)計(jì)真空閥時(shí),，應(yīng)充分注意到它的工作特性，合理設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)和提出技術(shù)條件.滿足以下幾點(diǎn)主要要求:
l)閥的任何地方都不應(yīng)漏氣,。
2)閥的連接部分和閥門(mén)處在關(guān)閉時(shí)的密封,，應(yīng)保證真空嚴(yán)密性和可靠性。密封零件最好可以更換,。
3)閥的出入口及閥腔,，應(yīng)盡可能是直的，使氣流少轉(zhuǎn)彎,，并在閥開(kāi)啟時(shí),，有足夠大的空間供氣流通過(guò)，有良好的通導(dǎo)能力,。
4)閥的開(kāi)關(guān)操作應(yīng)輕快方便,，極位(開(kāi)、關(guān),、放氣……)操作順序和轉(zhuǎn)動(dòng)方向應(yīng)加標(biāo)志并定位,。
5)閥的全部金屬零件(特別是內(nèi)表面)應(yīng)都是抗腐蝕的，蒸汽壓低的,，表面光潔的,。
6)閥的結(jié)構(gòu)應(yīng)簡(jiǎn)單和便于制造,，注意焊縫應(yīng)減少到最低限度。少用或避免用特殊加工及自己工廠條件難以加工的結(jié)構(gòu)(如真空焊接),。
常見(jiàn)的真空閥的典型結(jié)構(gòu)原理,。它們的操縱動(dòng)力，包括手動(dòng),、氣動(dòng)和電動(dòng)等,。
真空閥的結(jié)構(gòu)形式，豐要分為單閥(包括二通和三通,。直通和F形,，T形)和組合閥(多通)兩種。其中特別是高真空閥和組合閥,，在閥體上往往還要連接真空測(cè)盆接頭或其他接頭(如引電入真空的電接線柱),。
隨著我國(guó)電子工業(yè)的發(fā)展，真空裝置為滿足新的生產(chǎn)工藝,，復(fù)雜的真空系統(tǒng)使用著許多閥門(mén)來(lái)控制,，為了使系統(tǒng)導(dǎo)管長(zhǎng)度縮短，提高通導(dǎo)能力,，簡(jiǎn)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu),，并便于操作和制造，目前已逐漸向組合閥邁進(jìn),，用一個(gè)閥來(lái)代替若干個(gè)閥的工作,，并集中控制。用于真空機(jī)組上的組合閥(又叫多擋閥)結(jié)構(gòu),，在這個(gè)閥上,，集中了頂真空、高真空,、充,、放氣等閥，并根據(jù)操作需要,，可方便地用三個(gè)手柄,，控制預(yù)真空泵、高真空泵,、儲(chǔ)氣桶(氣雄),、充氣瓶(或管道)與容器(指真空室)的通路的接通或斷開(kāi)，使它們各自單獨(dú)與容器接通,，或串聯(lián)工作,，或完全隔離，從而有利于不同的工藝操作。工作容器可以安裝在閥體上部,，也可以安裝在側(cè)面,。 |
