近年來(lái),，發(fā)現(xiàn)用機(jī)械真空泵和擴(kuò)散泵抽氣的真空系統(tǒng),，由于它有微足的油蒸汽返流入被抽容器或器件中,，使許多電子器件的性能和技術(shù)指標(biāo)受到嚴(yán)重影響,。例如,，電子管的氧化物陰極,，因油蒸汽而降低其發(fā)射性能和壽命,，各種大功率高電壓電子管,，因油蒸汽的存在而容易電擊穿;廣播電臺(tái)用的耐高壓真空電容,，因泊蒸汽的存在而顯著降低其耐壓指標(biāo),，油蒸汽在許多地方，產(chǎn)生顯著的不利影響,。因此,，用于這些方面的真空系統(tǒng)，要求改用無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)代替,，即不使用用真空油密封和用真空油作工作液的抽氣工具(如機(jī)械泵,、擴(kuò)散泵)，而采用靠對(duì)氣體分子吸附作用,，降低容器內(nèi)壓強(qiáng)的吸附泵和欽泵來(lái)獲得所需的真空,。
吸附泵是利用某些固體物質(zhì)的多孔性表面，在冷狀態(tài)下對(duì)氣體的強(qiáng)烈吸附作用,，而使封閉系統(tǒng)獲得10-2毫米水銀柱的低真空的,，它是用作無(wú)油系統(tǒng)的前級(jí),。

吸附泵所用的吸附物質(zhì)，一般除可用活性碳外,，大多使用分子篩(人造沸石)來(lái)吸附氣體,，獲得真空。因?yàn)�,，�?dāng)用液氮冷卻后,，每一公斤的分子篩，能把50-100升的容器從大氣抽成10-2毫米水銀柱的真空,，所以,，它是一種吸氣泛很大的泵，而它在經(jīng)過(guò)400℃左右的烘烤后,，其所吸的氣體就又重新放出(叫做活化或再生),，恢復(fù)再吸氣的能力。目前常用的5A分子篩(吸收容量大,，適合排空氣,，但需經(jīng)常“活化，,，其平均孔徑約為5埃)和13X分子篩(其吸附容且雖比5A分子篩小,，但能吸收油蒸汽分子)。