低真空機組的主要特點是工作壓力高,、排氣量大，但抽速比高真空機組低,。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大,、工作壓力又高的真空輸送,、真空浸漬、真空過濾,、真空干燥,、真空脫氣(鋼水處理)等裝置中。

低真空抽氣機組的主泵常用往復式真空泵,、油封式機械泵,、干式機械泵、水噴射泵,、水蒸氣噴射泵,、水環(huán)泵，分子篩吸附泵,、濕式羅茨泵等直排大氣真空泵.使用低真空抽氣機組,，還需要根據(jù)被抽氣體清沽程度、濕度或其他特殊要求,，配里必要的除塵器,、水氣分離器、油水分離器,、干澡阱等部件,。

(1)油封機械泵機組抽除可凝性氣體的措施。

油封機械泵不適于抽除含有大量水蒸氣的氣體.水蒸氣在壓縮過程中會凝結成水滴,，并與泵油混合形成懸浮液，破壞泵的抽氣性能,，使泵的真空度下降,。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮(zhèn)裝皿的油封機械泵，并使泵的工作溫度控制在75-90℃之間,，以減少氣鎮(zhèn)閥負擔;在機組中安裝水汽分離器或油水分離裝捉,，將混有水的機械泵油進行處理，處理過的油再進人泵中使用;使用各種干燥吸附劑做成捕集阱吸收水蒸氣,。使用各種冷凝器或冷阱,，不僅能有效地吸附水蒸氣，同時還可阻擋機械泵向真空室的返流,。

(2)常用機組形式,。

油封機械泵低真空機組.適用于化學氣相沉積裝置、真空包裝,、醫(yī)藥工業(yè)等領域,。

有擋油阱的低真空機組。雙級水環(huán)泵和大氣噴射泵申聯(lián)組成的機組極限壓力1300Pa,。工作時,，先開動水環(huán)泵,，以獲得大氣噴射泵所需的預壓力，使大氣噴射泵的進氣口與出氣口之間有壓力差,，大氣便通過噴射進人泵內形成高速運動氣流.將被抽氣體吸人,，經擴壓器被水環(huán)泵排走。

該機組適用于真空蒸發(fā),、真空濃縮,、真空浸演、真空干煤,、真空冷凍等工藝過程,。