前級泵和后級泵有些差別,后級泵的泵腔比前級泵大,,這是因為泵的抽速主要決定于后級泵的有效幾何容積,。另外,前級泵和單級旋片泵一樣,,隨時有油進入泵腔;而后級泵僅在開始工作時有少量的油,,工作一段時問后,便沒有油進入泵腔了,,這是因為后級沒有專門的油路,。這樣做并不會影響后級泵的性能,因為抽氣時間一長,,后級泵進氣口的壓強大大下降,,而它的出口壓強也很小,進出口的壓強差不大,,被壓縮氣體級縫隙返流的量很少,,同時,在真空度較高的情況下,,縫隙的流阻較大,,雖然沒有油密封,但返流的氣體量也很少,。相反,,有如下好處:可以避免泵油把氣體和蒸氣帶進后級進氣口,從而大大地降低了殘余氣體的分壓強,;同時,,由于后級泵中油的輕餾分不斷地被前級泵抽走,殘余的油蒸氣分壓強也降低了,,這就使泵的極限真空得到了提高,。氣分壓強也降低了,這代使泵的極限真空得到了提高,。