前級泵和后級泵有些差別，后級泵的泵腔比前級泵大,，這是因為泵的抽速主要決定于后級泵的有效幾何容積,。另外,，前級泵和單級旋片泵一樣,，隨時有油進(jìn)入泵腔;而后級泵僅在開始工作時有少量的油,，工作一段時問后,，便沒有油進(jìn)入泵腔了,，這是因為后級沒有專門的油路。這樣做并不會影響后級泵的性能,，因為抽氣時間一長,，后級泵進(jìn)氣口的壓強(qiáng)大大下降，而它的出口壓強(qiáng)也很小,，進(jìn)出口的壓強(qiáng)差不大,，被壓縮氣體級縫隙返流的量很少，同時,，在真空度較高的情況下,，縫隙的流阻較大，雖然沒有油密封,，但返流的氣體量也很少,。相反，有如下好處:可以避免泵油把氣體和蒸氣帶進(jìn)后級進(jìn)氣口,，從而大大地降低了殘余氣體的分壓強(qiáng),；同時，由于后級泵中油的輕餾分不斷地被前級泵抽走,，殘余的油蒸氣分壓強(qiáng)也降低了,，這就使泵的極限真空得到了提高。氣分壓強(qiáng)也降低了,，這代使泵的極限真空得到了提高,。