一般真空系統(tǒng)的設計計算是以總放氣量Q為依據(jù)的,，又根據(jù)冶金工藝過程的特點，也要以氣源的性質(zhì)作為設計的依據(jù),。即要求設計時對氣源的質(zhì)與量要并重來決定設計方案,。

在真空冶煉過程中,，氣源性質(zhì)的顯著特點是氣體溫度較高并含有大量灰塵，以及氧氣,、氫氣的成分較多,，有時還含有大量帶腐蝕性或有毒的氣體。因而在一些系統(tǒng)中,，通常設有除塵器、過濾器,、化學拼和低沮腆等,，有時管路還需水冷。

有些帶腐蝕性氣體，如海綿欽的工藝過程,，有氯化氫氣放出,，粉塵物對機械泵油和泵體部件的腐蝕一也相當嚴重，使泵油不得不經(jīng)常更換,。根據(jù)工藝要求,，采用羅茨泵和水環(huán)泵組成真空系統(tǒng)效果較好。

此外還有排出水蒸汽的問題,。如真空系統(tǒng)從大氣開始抽空,，在1~10-1Torr時開始放氣，而10-1~10-2Torr時,，表面主要放氣是空氣中的水蒸汽,。氣鎮(zhèn)泵可以部分地解決這個問題。在超高真空系統(tǒng)中的殘余氣體中氫氣較多,，也可選用鋯鋁吸氣泵,。

以不同的氣源性質(zhì)來選擇合適的抽氣設備，可使真空系統(tǒng)的作用得到充分的發(fā)揮,。