油封式真空泵即旋片式真空泵,，一般為真空機(jī)組的前級真空泵,。這種泵是在60~100℃范圍內(nèi)把各種不同的混合氣體壓縮到大氣壓并排放到排氣管中。如果泵內(nèi)危害性產(chǎn)物的壓力,、濃度,、溫度都比較高,，這些物質(zhì)在泵及泵的附件內(nèi)積存起來這些物質(zhì)在排氣管道內(nèi)同周圍空氣相接觸等等，都會構(gòu)成潛在的危險,。
半導(dǎo)體制造使用或產(chǎn)生的有害氣體,，必須采取合適的測量方法，以防止著火和爆炸,，保證設(shè)備的正常運(yùn)行,，防止操作人員、維修人員及服務(wù)人員發(fā)生急性或慢性中毒,。為了安全起見,，應(yīng)配備抽力足夠大的合適真空泵和附件，并要求采用合理的操作和維護(hù)方法,，配備適當(dāng)?shù)谋O(jiān)控裝置,。
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