真空漏率測量的辦法是以示漏物質(zhì)夜蓋被橙容器的整個(gè)可疑區(qū)(或者被檢容器內(nèi)充人示漏物質(zhì))，另一側(cè)抽真空(或是大氣);或是在被檢容器的內(nèi)外兩側(cè)形成壓差(或示漏物質(zhì)的濃度差)，在低壓(或低濃度)側(cè)側(cè)2示漏物質(zhì)的漏率
和濃度變化,。
(1)加壓條件下容器漏率的測定
在加壓條件下測童容器漏率的方法有:氣泡法,、超聲法、氣敏半導(dǎo)體檢漏儀法,、氨檢漏法,、鹵素檢漏儀法、氮質(zhì)譜檢漏儀法等,。
(2)真空條件下容器漏率的測定
①利用接人真空容器的真空規(guī),、離子泵及殘氣分析質(zhì)譜計(jì)來測定容器的漏率。
②可以選用流盆測量,、壓力測量,、鹵素檢漏儀以及氮質(zhì)譜檢漏儀等方法來測全漏率。
(3)密封件的無損檢漏
①盡量利用密封件上可用來指示密封器件內(nèi)部壓力和示漏物質(zhì)分壓力的規(guī)管和殘氣分析質(zhì)譜計(jì)等進(jìn)行檢漏,。
②有些原來不是測量壓力的裝置,，如:電子管、顯像管等,，若改換饋電方式,，將其電極接成電離規(guī)的方式，測全出管內(nèi)離子流的變化,，便可知管內(nèi)壓力的變化率,。大批量生產(chǎn)這類器件時(shí)，可以通過校準(zhǔn)的方法把離子流的變化率直接換算成漏率,。
③如果密封件內(nèi)部具有可作為示漏的物質(zhì)時(shí),，采用動態(tài)法或靜態(tài)法對漏到外面的示漏物質(zhì)進(jìn)行檢測，就可測出漏孔來,。通常這類密封件內(nèi)部的示漏氣體的分壓力要比采用背壓法時(shí)的壓力為高,。因此，檢漏靈敏度高,，費(fèi)用低,。
④背壓法檢漏適用于成批生產(chǎn)小型密封件時(shí)的檢漏;可以使用鹵素檢漏儀，氮質(zhì)譜檢漏儀,，放射性同位素等檢漏方法和儀器,。 |
