站在節(jié)能減排的高度審視傳統(tǒng)的有油真空泵系統(tǒng)是每個真空業(yè)者當(dāng)今必須正視的問題,。傳統(tǒng)的無油概念僅僅是為了獲得清潔的,、無碳氫化物污染的真空環(huán)境。今天的“無油”除滿足工藝要求的清潔的真空環(huán)境外,，對外排氣還要保護環(huán)境,，杜絕廢油廢氣的污染與排放,。
傳統(tǒng)的有油真空系統(tǒng)(2X型旋片式真空泵),，能源利用率普遍較低，其中尤以油增壓泵油擴散泵為甚,，簡直就是“電老虎”,，正是在此背景下，分子泵得以大行其道,，在φ400 mm以下的區(qū)域內(nèi)大有取代傳統(tǒng)擴散泵之勢,。同為φ250mm的泵，擴散泵功率比分子泵的大五倍,，可見能源浪費之大,。長此下去，有油真空系統(tǒng)的市場空間勢必越走越窄,。
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