在化工、制藥等行業(yè)的真空蒸餾,、脫水,、濃縮,、干燥的工藝過程中,，不但要求真空系統(tǒng)具有抽水蒸汽和可凝性氣體的能力,，還要求真空系統(tǒng)能維持在某一壓強(qiáng)下運(yùn)行,。
此工藝中應(yīng)用最廣泛的就是羅茨水環(huán)真空機(jī)組,，這種羅茨水環(huán)真空機(jī)組在化工行業(yè)應(yīng)用十分普遍,，可用于抽除腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑,。
但當(dāng)抽除腐蝕性氣體時(shí)，羅茨真空泵的泵體和轉(zhuǎn)子以及水環(huán)式真空泵的泵體和葉輪都必須用316L不銹鋼制成,，或采用化學(xué)表面處理技術(shù)在接觸工藝氣體部位涂上一層美多斯(NEDOX),。這種涂層的特點(diǎn)是耐磨性好、不粘,、不剝落,，經(jīng)過熱處理后表硬度可達(dá)HV750~1000，涂層厚度為10~15μm,。當(dāng)這種羅茨水環(huán)真空機(jī)組需要抽除有機(jī)溶劑時(shí),，水環(huán)式真空泵的工作液必須與被抽溶劑相兼容，機(jī)械密封需采用四氟機(jī)封，并采用工作液閉式循環(huán)系統(tǒng),。
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