真空泵在工業(yè)部門中應用相當廣泛,，如燈泡制造、電子管,、食品包裝,、半導體器件的制造。真空蒸餾,、真空浸漬,、離子氮化、真空干燥,、真空滲碳，真空淬火,、真空澆鑄等。在真空條件下由于氣體分子數(shù)較少,，可以避免氣體產(chǎn)生的有害作用,。如在真空中熱處理可以避免氧化和氣體滲入金相組織，從而提高零件質(zhì)量;在電子器件中保持高真空可以避免電子運動受到影響,；在真空包裝中保持高真空可以提高食品保質(zhì)期,。在現(xiàn)代尖端科學技術中，真空技術更是不可缺少的手段,，如高能加速器,、受控熱核反應，宇宙模擬等工程都需要高真空或超高真空技術,。

真空泵的種類很多，有機械真空泵(如往復式真空泵、油封式機械真空泵,、羅茨真空泵,、渦輪分子泵、水環(huán)式真空泵等),，噴射真空泵(如水蒸汽噴射泵,、水噴射泵、大氣噴射泵,、油增壓泵,、油擴散泵等)，還有物理化學吸附泵(如鈦泵,、分子篩吸附泵、低溫泵等).在機械工業(yè)部門中主要采用機械真空泵,，其他類型的泵則較少采用,。