渦輪分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子挽帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵,。工作壓力范圍為1Pa--10-8Pa,，抽氣速率一般在
5000L/s以下。先進的泵可以獲得10-9Pa的極限壓力,，泵的轉(zhuǎn)速為10000r/min--50000r/min,，這種泵的抽速范圍很寬,，在九個數(shù)
f級間具有恒定的抽速。分子泵主要用作超高真空泵和高真空泵,，但它不能直接對大氣排氣,，需要配置前級泵，并且其主要性能(如
極限壓力和抽速)都和配置的前級泵的容率,、轉(zhuǎn)數(shù),，被抽氣體的種類有關(guān)。分子泵對較輕的氣休抽速較大,，對組的抽速比對空氣的抽
速大20%,我國在禍輪分子泵的研究和生產(chǎn)方面進展很快,。在20世紀60年代研制成功的臥式渦輪分子泵的基礎上，很快發(fā)展了銑制和
扭制葉片的兩種立式渦輪分子泵系列產(chǎn)品,。抽速范圍為11OL/s,150L/s,45OL/s,55OL/s,60OL/s,120OL/s,1500L/s和3500L/s等多
種規(guī)格,。我國制定了立式渦輪分子泵行業(yè)標準(JB/T 9125-95 )和渦輪分子泵性能側(cè)試方法國家標準
(GB7774-87 )，并將磁懸式軸承用于渦輪分子泵中,。
近10年來,，由于軸承和高速旋轉(zhuǎn)以及數(shù)控加工技術(shù)的不斷發(fā)展，使國際上渦輪分子泵的研制取得了長足的進步,，抽速從50L/s已發(fā)展
到25000L/s(日本)甚至達40000L/s(俄羅斯),。在以機械運動的各類真空泵中分子泵是一種結(jié)構(gòu)精密、工藝要求高的泵。泵的動,、靜
葉片的幾何形狀與抽速有很大關(guān)系,，需要特殊的工藝加工來保證葉片的尺寸和精度。同時要求轉(zhuǎn)子有很好的動平衡,，動葉片應具有
高強度以承受高速轉(zhuǎn)動產(chǎn)生的離心力,，保證泵的運轉(zhuǎn)可靠。
分子泵由里于泵體內(nèi)的中頻電機直接驅(qū)動,，渦輪轉(zhuǎn)子為整體式結(jié)構(gòu);該泵對大分子量的氣體有較高的壓縮比,，且中頻電機置于前級空
間，能獲得清沽的高真空和超高真空;它的性能特點是:結(jié)構(gòu)緊湊,，工作壓力范圍寬,，在10-1Pa-10-7Pa范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速;工作
平穩(wěn)，由于采用了精密軸承,，嚴格的動平衡工藝和一系列的減振措施,，因而泵的振動小、噪聲低,、啟動時間短,，一般在4min-
15min內(nèi)能達到滿抽速;標準化的法蘭連接尺寸，垂直結(jié)構(gòu),，使其便于與真空系統(tǒng)連接,。
隨著渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)不斷改善，用途越來越廣,。在某些應用領(lǐng)域已有代替油擴散泵的傾向,。它適用于在要求清潔的高真空和超高
真空的儀器設備上使用，如高能加速器,、核聚變反應裝置,、宇航模擬、真空鍍膜,、真空冶煉,、半導體提純、大型電子管排氣等,。
目前磁懸浮式渦輪分子泵已達到實用化程度,，使渦輪分子泵向高流量、高出口壓力方向發(fā)展,。這樣分子泵不僅在極高和超高真空范
圍內(nèi)應用,，還可用于高真空和中真空范圍。現(xiàn)已成為獲得清潔真空的主要設備(如干式分子泵的出現(xiàn)),，應用領(lǐng)域在不斷擴大,。
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