二級型濺射離子泵在排除氬,、氪和氙等惰性氣體時,經常會出現(xiàn)氬壓力循環(huán)上升的現(xiàn)象,，即真空系統(tǒng)內德壓力突然脈沖式的上升然
后又下降,，壓力變化幅度為10-2Pa數(shù)量級,。這種現(xiàn)象稱為“氬不穩(wěn)定性”,。給出了二級型噴濺離子泵在空氣壓力為10-3Pa時進行數(shù)
百小時或在10-4Pa時進行數(shù)千小時排氣后所出現(xiàn)的氬不穩(wěn)定性,。為克服這種現(xiàn)象,，出現(xiàn)了各種改進型的濺射離子泵的幾種改進型結
構：
1）二極型泵結構簡單,，磁鐵的磁隙小,，只是啟動壓力低,。如果不是在高壓力下啟動而且對惰性氣體抽速無特殊要求，還是選用這種
泵好,。
2）如果要求啟動壓力高,，可以采用三極型結構，或采用其他輔助辦法,。三極型結構工藝復雜,，如果是三電位，電源也復雜,。
磁鐵的磁隙也大了,。
3）如果為了抽除氬、氦,，可以采用多孔型陰極,。但在鉭板上打孔麻煩。從工藝上考慮,，可以采用非對稱型陰極,。要從材料上考慮可
以采用二電位三極型。
4）磁控管型和端子板型都是為了提高對氬的抽速,。放電強度,、濺射能力都提高了，但工藝上困難較大,。
5）幾種泵對各種氣體抽氣
能力相差較大,，可按具體情況選用。
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