擴散泵的結構原理如圖1,底部為蒸發(fā)器,，內貯有擴散泵油,。上部為進氣口，右側旁管為出氣口,，在工作時出氣口處由機械泵提供前置真空。當油被電爐加熱時,，產生的油蒸汽沿著導

流管經傘形噴嘴向下噴出,。因噴嘴外面有機械泵提供的真空(10-2~10-3托)，故油蒸汽流可噴出一長段距離,，鉤成一個向出氣口方向運動的射流,。射流最后碰上有冷卻水冷卻的器壁時，授結為液休,，流回蒸發(fā)器,，重新使用。

由進氣口進入泵內的氣體分子,，一旦落入蒸汽流中,，便獲得向下運動的動最，往下飛去,。由于射流具有高的速度(約每秒200米),、高的蒸汽密度(蒸汽壓幾至幾十托)，且擴散泵油具有高的分子量(350-500),，故能有效地帶走氣體分子,，因此在射流的界面內，氣體分子不可能長期停留,，其濃度很小,。換言之，在射流界面的兩邊,，被抽氣體有很大的濃度差,。正是這個濃度差，使被抽氣體能源源不斷地越過界面,，擴散入射流中并被帶往出口處,。在那里，它們被機械泵帶走,。