真空泵是一種普遍采用的造成真空的設(shè)備,，可分為往復(fù)式、回轉(zhuǎn)式等,。 本文著重講解一下往復(fù)式真空泵的原理,。

往復(fù)式真空泵

圖1是單動(dòng)往復(fù)式真空泵的工作原理示意圖:它的工作過程是:當(dāng)活塞向右移動(dòng)時(shí),，氣缸內(nèi)活塞左邊的空間體積增大,，氣體壓力下降,。當(dāng)壓力下降到稍小于吸入口管內(nèi)壓力時(shí),，吸入口的氣體頂開進(jìn)氣閥而進(jìn)入氣缸內(nèi),。氣體隨著活塞右移而繼續(xù)進(jìn)入氣缸,，直至活塞移動(dòng)到右邊末端才停止進(jìn)氣，此為吸氣過程,。在吸氣過程中,，由于排氣閥外的氣體壓力大于氣缸內(nèi)的壓力，因此排氣閥不能打開,。當(dāng)活塞開始向左移動(dòng)時(shí),，進(jìn)氣閥便被氣缸內(nèi)的了毛體所壓閉，這樣氣體不能流回吸入管線,。當(dāng)活塞移動(dòng)到一定位置時(shí),，氣缸內(nèi)的氣體被壓縮到壓力稍大于出口的壓力時(shí)，排氣閥便被頂開,，氣缸內(nèi)的氣體被排出,，直至活塞移動(dòng)到左邊末端為止，此為排氣過程,。這樣活塞來回作往復(fù)的運(yùn)動(dòng),，便可在吸入管處形成真空,。

往復(fù)式真空泵也有單級和多級的區(qū)別。單級雙動(dòng)高速真空泵真空度可達(dá)10-20毫米汞柱(絕對壓力).多級真空泵可以達(dá)到更高的真空度,。