選擇適當材料,、確保真空系統(tǒng)密封性和減少放氣源,，是獲得并保持真空至為重要的事。而了解真空材料的性質(zhì)和特點則是選擇好材料的前提,。
一,、對真空材料的性能要求
1.氣密性好,，不滲漏，不存在多孔性的滲漏源,。
2.飽和蒸氣壓足夠低,，不致影響系統(tǒng)真空度。
3.材料的吸氣盡量少,，并且易于除去,。
4.化學穩(wěn)定性好，不易被氧化和腐蝕,。
5.溫度穩(wěn)定性好,，即在工作溫度范圍內(nèi)，其真空性能和機械性能不致變壞,。
6.加工容易,，經(jīng)濟合算。
二,、材料分類
真空技術(shù)工作所用材料大致可分三類.
1.結(jié)構(gòu)材料:主要是各種金屬和玻璃,。金屬材料包括低碳鋼、銅,、鋁及其合金等,。超高真空則用不銹鋼(出氣率低)。在易出氣材料或玻璃系統(tǒng)內(nèi)表面涂一層聚四氟乙烯(特氟隆Toflo),，可減少氣體在內(nèi)壁表面的物理吸附,、可烘烤至375 ℃，使表面氣體釋放，極限真空度可達2*10-10托,。
2.絕球及密封材針:主要是陶瓷,、橡膠、塑料,、云母片之類,。橡膠、塑料等材料記憶效應(吸收氦氣等)較嚴重,，使用時應加注意,。
3.輔助密封材桿。包括真空封脂,、封蠟等,。
除上述幾類材料外，銅,、鋁或黃金,、銀之類可作超高真空之密封墊卷，錮涂在鋁的表面可減少與凸緣表面粘著作用,，彈性薄膜或波紋管用被磷銅或蒙耐爾(K-Monel)制成,，可作機械泵一擴散泵之間連接減震或用于真空閥門�,？傊S著真空技術(shù)研究的進展,，新工藝、新材料肯定將不斷出現(xiàn),，這是應隨時密切注意的,。
三、“滲透”問題
氣體通過材料器壁滲透,，這個問題在真空技術(shù)中是很重要的,。因它對超高真空的獲得已具有了決定性意義，故目前已形成一個專門研究學科,。
玻璃的滲氮性是眾所周知的,，而金屬和陶瓷對某些特定氣體的滲漏已正為人們所重視。因此目前超高真空系統(tǒng)均用滲透率很低的材料-不銹鋼等來制做了,。
四,、結(jié)構(gòu)材料的放氣
在常溫下，真空環(huán)境中的材料也會放出氣體,，與滲透系數(shù)相似,，出氣速率也隨溫度呈指數(shù)性增長，所不同的是一端沒有氣源補充,。它們的存在與系統(tǒng)大小不等地存在泄漏一樣,，限制了系統(tǒng)極限真空度的提高。
五、吸氣劑（消氣劑)
在電子管或電真空器件工業(yè)生產(chǎn)方面,，常利用某種具有較強吸氣能力的物質(zhì),，它與殘余氣休作用，使真空度大為提高,。這種物質(zhì)多為金屬材料,，統(tǒng)稱為“吸氣劑”或“消氣劑”。使用消氣劑,，可使排氣時間大大縮短,，真空度大為提高，從而使自動排氣設備的使用成為可能,。由于它能持續(xù)吸收電真空器件在工作過程中緩慢放出的氣體,，因而能維持這些電真空器件工作真空度要求，對氧化物陰極,、光電陰極及冷陰極電子器件延長壽命,，有著特殊重要的作用。
消氣劑與氣體的相互作用主要是化學反應,、物理吸附和吸收,。消氣劑的種類很多,。在所有蒸散型消氣劑中,，以鋇類消氣劑用的最多，而在涂敷型消氣劑中,，則以格,、欽、擔和飾社合金類較常用,，它們又稱非蒸散型消氣劑,。由于欽具有優(yōu)越的高溫吸氣性能和蒸散吸氣特性，目前已發(fā)展成為欽泵,，應用于無油類真空泵,。
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