極限真空是羅茨真空泵的重要參數(shù)之一，其含義是在嚴(yán)密封閉泵的入口時(shí),，經(jīng)較長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)所能達(dá)到的最高真空度,。因常用壓力表示,，故又稱極限壓力,。從特性曲線中可以看出,，當(dāng)羅茨真空泵達(dá)到極限真空時(shí),，通過泵入口的正向氣流量為零,，即泵的實(shí)際抽速為零。如果與前級真空串聯(lián)工作,，由于氣流連續(xù)性,，此時(shí)前級泵也同時(shí)達(dá)到極限真空。
羅茨真空泵在作為機(jī)械增壓泵使用時(shí),，其極限真空與前級真空泵有關(guān),，選擇不同的前級泵可以獲得不同的極限真空。用水環(huán)真空泵作前級泵時(shí),，單級羅茨真空泵的極限真空為1Torr左右,，雙級羅茨真空泵可達(dá)2*10-2Torr,用滑閥真空泵作前級泵時(shí)，單級羅茨真空泵的極限真空為5*10-4Torr,雙級羅茨真空泵可達(dá)到1*10-5Torr,。
直排大氣的濕式羅茨真空泵的極限真空不高,，一般約為60~40Torr，其真空度高低與泵制造的質(zhì)量有關(guān),。不過這種羅茨真空泵常常是用在抽粗真空的場合,，所要求的真空度比極限真空低得多，因此這種泵的極限真空對使用來說意義不大,。
在試驗(yàn)羅茨真空泵的極限真空時(shí),，按照部頒標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定一般要求開動(dòng)10~20min以達(dá)到極限真空,，同時(shí)還要注意泵的濕度應(yīng)保持正常。新出廠的羅茨真空泵達(dá)到極限壓強(qiáng)的時(shí)間可能更長一些,，因?yàn)榱慵峡赡苡幸讚]發(fā)的清洗液,，或因泵的潤滑油吸收了水份和氣體，需要一定的時(shí)間才能充分揮發(fā),。最好能試驗(yàn)二,、三次，以便加以比較,。
