低真空裝置如真空輸送,、真空浸漬、真空過濾,、真空單調(diào),、真空脫氣（鋼水處置）等懇求具有工作壓力高、排氣量大的低真空泵抽
氣機組,，這類低真空抽氣機組主泵常用往復(fù)式真空泵,、油封式真空泵、水蒸氣放射泵,、水環(huán)泵,、羅茨泵等。運用的低真空抽氣機組
還需根據(jù)被抽氣體清潔程度,、濕度或其他特殊懇求,，配置必要的除塵器、單調(diào)罐等部件,。
水蒸氣在緊縮過程中會凝結(jié)成水滴,，并與泵混合構(gòu)成懸浮液，不只會使真空度降落,，也能使泵腔與轉(zhuǎn)子生銹,，破壞密封面，使泵的
極限真空度降落,。為此,，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有：
（1 ）選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機械泵,；
（2 ）裝油分別器,、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機械泵油中止處置,，處置過的油再流入泵中運用,；
（3 ）運用吸水性強的單調(diào)劑；
（4 ）運用液氮冷阱,，不只能有效地吸附水蒸氣,，同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。
油擴散泵真空系統(tǒng)污染與防治
油擴散泵真空系統(tǒng)是運用最普遍的真空系統(tǒng),，其獲得真空度范圍為1.3×10-3 ～1.3×10-5 Pa,。油擴散泵真空系統(tǒng)構(gòu)成的各類真空
裝置，長期運用后,，常見的缺點是真空度抽不上去,，或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內(nèi)壁的油蒸氣污染、真空工藝
過程各種污染物的污染有關(guān),，防止的辦法是：
（1 ）定期清洗真空室,；
（2 ）定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵中止清洗。
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